真空退火炉的快冷操作方法

　　真空退火炉在使用中升温结束后，进入冷却阶段，这时可以选择自然冷却，或者是采用快冷的方法，具体需要根据工艺而定，当选择采用快冷时，具体的操作方法如下。
　　1、按工艺要求调整充气压力表的上、下限，调整风机控制压力表的上、下限，在无纸记录仪上调好风机启动温度。
　　2、按步骤关闭各真空泵、阀。扩散泵阀→扩散泵→预抽阀→真空阀→罗茨泵→滑阀泵。
　　3、按“充气阀”、“确定”，充气阀打开，向真空退火炉内充入高纯的N2或Ar(纯度≥99.999%)当炉内压力接近充气压力上限时，关“充气阀”，打开“微充阀”，直到充气上限为止。

　　4、当达到设定的风机启动温度后，按“风机”、“确定”风机启动，炉温快速冷却。
　　5、若热交换器及风机出水温度较高，应适应调大其供水阀，以利缩短冷却时间。
　　6、当真空退火炉炉温达到100℃以下，关闭风机，打开扩散泵上部的手动阀，排出炉内气氛，直至炉压与大气压平衡，方可打开炉门，取出产品。
　　真空退火炉需要采用快冷方式进行操作时，一定要提前对操作程序有所认识和了解，这样才能更好的达到效果，以免操作失误对产品以及设备造成伤害。